E+E温湿度传感器在无尘洁净室的应用

E+E温湿度传感器在无尘洁净室的应用

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无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room）、无尘室，是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细jun等污染物排除，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。即不论外在空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求洁净度、温湿度及压力等级能特性。

洁净室的发展与现代工业、高端技术密切联系在一起。由于精密机械工业（如陀螺仪、微型轴承等加工）、半导体工业（如大规模集成电路生产）等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%，64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。

经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准，都规定了有关的洁净度等级，我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行了较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。依据美国联邦政府颁布的标准【FederalAtandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级：分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级。